پمپ خلا حلقه مایع که دارای قدرت بالایی برای پمپاژ هیدروژن است و پمپ یونی سه لایه (یا پمپ یون قطبی نامتقارن کاتدی) که دارای پمپاژ مشخصی برای آرگون باشد، ترکیب این دو، دستگاه وکیومی می‌سازد که قادر به ایجاد خلا بهتری است.

علاوه بر این، برخی از پمپ‌های خلا نمی‌توانند تحت فشار جو کار کنند و نیاز به پمپی دارند که به عنوان پیش خلا کار کند. برخی از پمپ‌های خلا دارای فشار خروجی پایین‌تر از فشار جو هستند و نیاز به پمپ دیگری دارند تا بتوانند کارایی بهتری داشته باشند.

گازهای موجود در پمپ خلا حلقه مایع

نکته مهمی که وجود دارد این است که راندمان کاری پمپ خلا حلقه مایع بالا است؛ بنابراین بسیاری از انواع گازها را می‌توان با استفاده از این نوع پمپ، پمپاژ کرد. در این بخش، نمونه‌هایی از گازهای مختلفی که این پمپ‌ها می‌توانند آن‌ها را پمپاژ کنند، آورده شده است.

گاز تولید شده طی فرایند سیستم پمپ خلا حلقه مایع

این مورد شامل گازهای ساطع شده توسط مواد در فرایند کار سیستم، گازهای تبخیر شده مایع یا جامد موجود در سیستم خلا و گازهایی است که در اثر فرایند مورد نیاز وارد می‌شوند .

هوای موجود در ابتدای کار سیستم خلا پمپ حلقه مایع

در سیستم پمپ خلا حلقه مایع، محفظه و خط لوله خلا در ابتدا حاوی مقدار مشخصی از هوا است که از گازهای مختلفی تشکیل شده است. در مراحل اولیه پمپاژ، هوای موجود در سیستم، بار اصلی سیستم خلا بوده و همچنین شامل مولکول‌هایی است که توسط سیستم پمپ شده و به بیرون پمپ انتقال داده می‌شوند.

نشت هوا در سیستم پمپ خلا حلقه مایع

گاز نشتی شامل نشت هوا در سیستم خلا از طریق اتصالات بسته شده و یا راه‌های مختلفی است که هوا می‌تواند به سیستم نفوذ کند.

گازهای دفع شده از سطح مواد مختلف پمپ خلا حلقه مایع

سطح مواد در سیستم پمپ خلا حلقه مایع تحت فشار عادی، بخشی از گاز را جذب و حل می‌کند. در فشار منفی، این گاز دوباره آزاد می‌شود. میزان دبی آن با خاصیت مواد، فن آوری تصفیه و حالت سطح مواد مرتبط بوده و در سیستم‌های مختلف مقدار این گاز متفاوت است.

نفوذ هوای موجود در سیستم پمپ خلا حلقه مایع در مواد موجود

باید توجه داشته باشید که گاهی هوا در محلول انتقال، نفوذ کرده و حل می‌شود. بنابراین هوا با استفاده از ساختار دیواره پمپ حلقه مایع به درون سیستم خلا نفوذ کرده و در محلول انتقال حل می‌شود.